本標準規(guī)定了基于光學干涉顯微鏡獲取的微懸臂梁結構表面形貌進行應變梯度測量的方法。
本標準適用于表面反射率不低于4%且使用光學干涉顯微鏡能夠獲取表面形貌的微懸臂梁結構。
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