本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了基于光學(xué)干涉顯微鏡獲取MEMS微結(jié)構(gòu)表面形貌進(jìn)行面內(nèi)長(zhǎng)度測(cè)量的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于表面反射率不低于4%，寬深比不低于1:10，且使用光學(xué)干涉顯微鏡能夠獲取形貌的MENS微結(jié)構(gòu)。