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光伏電池用硅材料中P、As、Sb施主雜質(zhì)含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)量方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 29852-2013
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 信息產(chǎn)業(yè)專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、國(guó)家電子功能與輔助材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心
發(fā)布日期： 2013-11-12
實(shí)施日期： 2014-04-15
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更新日期： 2024年11月14日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)測(cè)定光伏電池用硅材料中磷、砷和銻含量的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于光伏電池用硅材料中施主雜質(zhì)磷、砷和銻含量的定量分析,其中磷、砷和銻的濃度均大于1×1014atoms/cm3。

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