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低壓化學氣相淀積設備通用技術條件

標 準 號： SJ/T 10311-1992
替代情況： 替代 SJ/T 10311-1992
發(fā)布單位： 中華人民共和國機械電子工業(yè)部
起草單位： 國營建中機器廠
發(fā)布日期： 1992-06-15
實施日期： 1992-12-01
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更新日期： 2024年09月01日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了低壓化學氣相淀積(LPCVD)設備的技術術語及薄膜厚度（以下簡稱膜厚）均勻性的計算公式、產(chǎn)品分類、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、運輸、貯存等方面的要求。


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