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磁控濺射設(shè)備通用技術(shù)條件

標 準 號： SJ/T 10478-1994
替代情況：
發(fā)布單位： 電子工業(yè)部
起草單位： 電子工業(yè)部標準化研究
發(fā)布日期： 1994-04-11
實施日期： 1994-10-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2024年08月20日
內(nèi)容摘要

本標準適用于磁控濺射設(shè)備（以下簡稱“設(shè)備”）。


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