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本標(biāo)準(zhǔn)給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的檢測(cè)要求、基本儀器配置和技術(shù)要求。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的檢測(cè)技術(shù)分析與應(yīng)用。