本文件界定了用于評(píng)估和確定射頻MEMS開(kāi)關(guān)的基本額定值和特性的術(shù)語(yǔ)、定義和符號(hào)，描述了參數(shù)測(cè)試方法。本文件適用于各種類型的射頻MEMS開(kāi)關(guān)，射頻MEMS開(kāi)關(guān)的一般說(shuō)明見(jiàn)附錄A。按接觸方式分類，包括直流觸點(diǎn)型開(kāi)關(guān)和電容觸點(diǎn)型開(kāi)關(guān)；按結(jié)構(gòu)分類，包括串聯(lián)開(kāi)關(guān)和并聯(lián)開(kāi)關(guān)，射頻MEMS開(kāi)關(guān)的幾何結(jié)構(gòu)說(shuō)明見(jiàn)附錄B；按開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò)分類，包括單刀單擲開(kāi)關(guān)、單刀雙擲開(kāi)關(guān)和雙刀雙擲開(kāi)關(guān)等；按驅(qū)動(dòng)方式分類，包括靜電驅(qū)動(dòng)開(kāi)關(guān)、熱電驅(qū)動(dòng)開(kāi)關(guān)、電磁驅(qū)動(dòng)開(kāi)關(guān)和壓電驅(qū)動(dòng)開(kāi)關(guān)等。射頻MEMS開(kāi)關(guān)在多頻帶或多模式移動(dòng)電話、智能雷達(dá)系統(tǒng)、可重構(gòu)射頻器件和系統(tǒng)、SDR（軟件無(wú)線電）電話、測(cè)試設(shè)備、可調(diào)諧器件和系統(tǒng)、衛(wèi)星等方面應(yīng)用廣泛，射頻MEMS開(kāi)關(guān)的應(yīng)用說(shuō)明見(jiàn)附錄E。