微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 硅基MEMS納米厚度膜抗拉強(qiáng)度試驗(yàn)方法
標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 42897-2023
發(fā)布單位: 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 深圳市美思先端電子有限公司、無錫韋感半導(dǎo)體有限公司、廣州奧松電子股份有限公司等
發(fā)布日期: 2023-08-06
實(shí)施日期: 2023-12-01