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凈化涂膠臺通用規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號： SJ/T 11181-1998
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國信息產(chǎn)業(yè)部
起草單位： 電子工業(yè)部半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所
發(fā)布日期： 1998-03-11
實施日期： 1998-05-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年12月05日
內(nèi)容摘要

本 標(biāo) 準(zhǔn) 規(guī)定了凈化涂膠臺(以下簡稱涂膠臺)的定義、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。


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