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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積(MOCVD)設(shè)備工藝驗(yàn)證的一般要求、試驗(yàn)條件和驗(yàn)證方法等內(nèi)容。