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MEMS慣性器件金屬薄膜生長工藝技術要求

標 準 號: SJ 21168-2016
替代情況:
發(fā)布單位: 國家國防科技工業(yè)局
起草單位: 中國電子科技集團公司第十三研究所
發(fā)布日期: 2016-12-14
實施日期: 2017-03-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2022年08月12日
內容摘要

本標準規(guī)定了MEMS慣性器件制造過程中金屬薄膜生長的工藝流程、工藝要求和檢驗要求。

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