本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識(shí)的術(shù)語和定義、設(shè)計(jì)和原則、使用及相應(yīng)的綜合標(biāo)簽庫。半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識(shí)包括半導(dǎo)體制造設(shè)備選擇、安裝、使用和維護(hù)時(shí)需要的各種類型的技術(shù)和商業(yè)信息。信息類型包括操作手冊(cè)/指南、安裝手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、維護(hù)計(jì)劃、備件/零部件清單、維修/故障排除手冊(cè)、發(fā)行說明、培訓(xùn)手冊(cè)等。