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碳化硅單晶拋光片表面粗糙度的測試方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號: SJ/T 11503-2015
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院
發(fā)布日期: 2015-04-30
實施日期: 2015-10-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2021年04月09日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用表面輪廓儀和原子力顯微鏡測定碳化硅單晶拋光片表面粗糙度的方法。

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