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三維異構(gòu)集成細(xì)間距微凸點(diǎn)制作工藝技術(shù)要求

標(biāo) 準(zhǔn) 號： SJ 21553-2020
替代情況：
發(fā)布單位： 國家國防科技工業(yè)局
起草單位： 中國電子科技集團(tuán)公司第十四研究所
發(fā)布日期： 2020-06-03
實(shí)施日期： 2020-08-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2020年12月11日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三維異構(gòu)集成細(xì)間距微凸點(diǎn)制作工藝的人員、環(huán)境、安全、材料、設(shè)備和儀器等一般要求。

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