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薄膜晶體管(TFT)用掩模版規(guī)范

標 準 號: SJ/T 11516-2015
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 電子工業(yè)標準化研究院
發(fā)布日期: 2015-04-30
實施日期: 2015-10-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2019年01月07日
內容摘要

主要技術內容包括:1、產(chǎn)品分類;2、技術要求:包括環(huán)境要求、材料要求、外觀尺寸要求、圖形尺寸要求、外觀要求、缺陷要求;3、試驗方法;4、檢驗規(guī)則;5、標志、包裝、運輸和儲存。

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