本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三氯化硼的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以粗制三氯化硼為原料，采用吸附、精餾等方法提純制得的三氯化硼，主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)所用的擴(kuò)散、離子注入、干法蝕刻等工藝。
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