1.篩硅粉,硅化鎂及硅塊的粉碎和加料,必須戴防塵口罩進行。
2.硅化鎂與酸堿類應(yīng)嚴格隔離,不準靠近。
3.多晶硅生產(chǎn)反應(yīng)爐凈化系統(tǒng)及分解爐要保證正常生產(chǎn),室內(nèi)嚴禁吸煙。
4.操作硫酸、硝酸、鹽酸、氫氟酸必須穿耐酸鞋,戴耐酸手套和穿防護服以及帶口罩。
5.操作液氨時,必須配戴防毒面具。
6.多晶硅,單晶硅設(shè)備及管道,在開爐前及生產(chǎn)中應(yīng)嚴格進行檢查和維修,保證其密閉性,不得有泄漏現(xiàn)象。
7.多晶硅生產(chǎn)中,嚴防硅烷氣體進入空氣。在停爐時,分解爐內(nèi)的硅烷氣體必須充分分解15分鐘以上,再降壓停爐。在保證分解爐內(nèi)無硅烷后,再打開爐門。
——摘自《機械工人安全技術(shù)操作規(guī)程》