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本文件描述了氮化硅粉體中氟離子和氯離子含量的離子色譜測(cè)定方法。本文件適用于氮化硅粉體中氟離子和氯離子含量的測(cè)定,測(cè)試范圍為0.050 0 mg/g~0.600 mg/g。