本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片或其他半導(dǎo)體晶片上一串連續(xù)的包括字母和數(shù)字的標(biāo)記。該編號(hào)標(biāo)記及關(guān)聯(lián)信息被儲(chǔ)存入數(shù)據(jù)庫(kù),對(duì)每個(gè)硅片起到了在硅片和器件制造期間追溯和控制的目的。本標(biāo)準(zhǔn)定義了晶片標(biāo)記的基本編碼規(guī)定。無(wú)需處理晶片,利用簡(jiǎn)單的自動(dòng)光學(xué)字符識(shí)別設(shè)備就可以對(duì)該標(biāo)記進(jìn)行獨(dú)立和快速人工識(shí)別,確保了硅片制造商對(duì)晶片標(biāo)記的一致性,有利于監(jiān)控晶片工藝的變化。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于廣泛的晶片產(chǎn)品,如外延片、SOI片、拋光片等等。