本標(biāo)準(zhǔn)第1部分規(guī)定了三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測(cè)定方法，適用于三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測(cè)定，檢測(cè)范圍為0.00001%～1.00%。
本標(biāo)準(zhǔn)第2部分規(guī)定了四氯化硅中甲基二氯氫硅的測(cè)定方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于四氯化硅中甲基二氯氫硅的測(cè)定，檢測(cè)范圍為0.00001%～1.00%。