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MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法

標 準 號： GB/T 42191-2023
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 中機生產(chǎn)力促進中心 等
發(fā)布日期： 2023-05-23
實施日期： 2023-09-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2023年07月12日
內(nèi)容摘要

本文件描述了MEMS壓阻式壓力敏感器件試驗條件和試驗方法。

本文件適用于MEMS壓阻式壓力敏感器件。


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