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產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范 (GPS) 表面結(jié)構(gòu) 區(qū)域法 第602部分：非接觸 (共聚焦色差探針) 式儀器的標(biāo)稱特性

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 33523.602-2022
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 廣東錦亞科技有限公司、陜西潤正檢測科技有限公司、浙江昂華新材料有限公司等
發(fā)布日期： 2022-12-30
實施日期： 2023-04-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2023年04月05日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了使用基于白光軸向色散特性的共聚焦色差探針測量表面結(jié)構(gòu)的非接觸式儀器的設(shè)計與計量特性。

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