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本標準規(guī)定了使用適當?shù)膮⒖嘉镔|對掃描電鏡（SEM）圖像的放大倍率進行校準的方法。本標準適用于對由校準參考物質上間距大小的可用范圍決定的放大倍率進行校準。本標準不適用于專用測長型掃描電鏡。
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