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微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法

標 準 號： GB/T 34898-2017
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位： 中機生產(chǎn)力促進中心
發(fā)布日期： 2017-11-01
實施日期： 2018-05-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2018年04月15日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了諧振式傳感器中MENS諧振敏感元件非線性振動特性參數(shù)的測試方法。
本標準適用于敏感元件在研制和生產(chǎn)過程中關(guān)于非線性振動特性和敏感元件閉環(huán)系統(tǒng)頻率偏移的測試，其他非MENS敏感元件可參考使用。

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