本標準規(guī)定了拉曼光譜法測定微機電系統(tǒng)（MEMS)結構表面殘余應力、相對靜態(tài)應力、相對動態(tài)應力的方法。
本標準適用于微機電系統(tǒng)（MEMS)結構表面殘余應力、相對靜態(tài)應力、相對動態(tài)應力的拉曼光譜法測試。?
三等標準金屬線紋尺航測儀器整機精度檢定規(guī)程滾動軸承 零件碳氮共滲 熱處理技術規(guī)范地熱回灌過濾裝置技術要求全球地理信息資源 數(shù)據(jù)產品規(guī)范無人機航空攝影成果質量檢查與驗收水電工程啟閉機設計規(guī)范 第4部分：液…高原用移動式現(xiàn)場煤油氣相干燥設備的…
砂輪機 安全防護技術條件機械防護安全距離【作廢】建筑塔式起重機安全規(guī)程【作廢】機械加工設備危險有害因素分類【作廢】起重機械安全規(guī)程【作廢】機械設備防護罩安全要求【作廢】塔式起重機操作使用規(guī)程金屬切削機床安全防護通用技術條件【…
