一、目的
消除一切使設(shè)備遭到損壞、使人身健康與安全受到威脅、使環(huán)境遭到污染的因素或現(xiàn)象,避免設(shè)備事故的發(fā)生,實(shí)現(xiàn)安全正常生產(chǎn)。
二、適用范圍
本公司鍍膜機(jī)的安全生產(chǎn)管理的全過(guò)程。
三、安全操作規(guī)程
1、開(kāi)機(jī)前先檢查各真空泵的油位高度,如有不足要補(bǔ)充后再開(kāi)機(jī)。
2、開(kāi)高閥前必須對(duì)濺射室抽低真空,待壓力達(dá)到5Pa時(shí),方可打開(kāi)高閥,不允許直接用擴(kuò)散泵抽高于5Pa壓力的濺射室。
3、操作或維修高閥時(shí),閥兩側(cè)壓力基本一致時(shí)才能開(kāi)高閥。
4、對(duì)濺射室充氣前,應(yīng)首先切斷真空計(jì)的高真空測(cè)量,以免損壞電離規(guī)管。
5、設(shè)備使用中途停水時(shí),應(yīng)立即切斷擴(kuò)散泵和濺射電源。
6、設(shè)備使用中途停電時(shí),應(yīng)將真空計(jì)的電離規(guī)管關(guān)閉,關(guān)壓電閥,關(guān)“充氣閥”,關(guān)濺射電源,關(guān)工件旋轉(zhuǎn)和烘烤電源等,待來(lái)電后重新啟動(dòng)。
7、應(yīng)根椐使用情況定期觀察弧靶腐蝕溝道的情況及時(shí)更換新靶材。
8、拆裝弧靶時(shí),應(yīng)先關(guān)閉冷卻水,拆下水管,用壓縮空氣吹凈靶體內(nèi)的水,防止水滴在濺射室內(nèi);并且不能損傷靶體,尤其是密封面。
9、更換靶材時(shí),不能損壞密封表面、靶陰極體及靶零件,必須清除油污及汗?jié)n。
10、開(kāi)啟濺射室蓋時(shí),室內(nèi)應(yīng)處于常壓,決不允許真空室處于真空狀態(tài)時(shí)開(kāi)啟室蓋。
11、操作人員必須嚴(yán)格按設(shè)備操作指導(dǎo)書(shū)和安全操作規(guī)程進(jìn)行作業(yè),注意設(shè)備本身及設(shè)備運(yùn)行中的安全,特別要重視安全裝置的檢查與使用。
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