1. 目的
為DJ-802V型LPCVD立式爐的開(kāi)關(guān)機(jī)安全操作以及設(shè)備緊急避險(xiǎn)提供指導(dǎo)。
2. 范圍：
本規(guī)程適用于DJ-802V型LPCVD立式爐安全技術(shù)操作。
3. 參考
《設(shè)備安全使用管理制度》
4. 職責(zé)
4.1. 設(shè)備工程師負(fù)責(zé)設(shè)備的正常開(kāi)、關(guān)機(jī)操作的培訓(xùn)和指導(dǎo)；
4.2. 擴(kuò)散操作者以及設(shè)備工程師等相關(guān)人員可執(zhí)行設(shè)備的緊急避險(xiǎn)程序。
5. 開(kāi)機(jī)前確認(rèn)
5.1. 開(kāi)機(jī)前確認(rèn)住控制器開(kāi)關(guān)、傳片單元開(kāi)關(guān)、顯示器開(kāi)關(guān)、爐體加熱開(kāi)關(guān)、控制器電源開(kāi)關(guān)、DN-130P極限溫度控制器電源開(kāi)關(guān)、FFU電源開(kāi)關(guān)、照明燈電源開(kāi)關(guān)都在“OFF”位置；若不在，則將開(kāi)關(guān)調(diào)整至“OFF”位置。
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5.2. 開(kāi)機(jī)前動(dòng)力條件確認(rèn)：打開(kāi)閥門(mén)后觀(guān)察氮?dú)鈮毫Α⒐柰閴毫?、二氯二氫硅壓力、笑氣壓力、氨氣壓力、壓縮空氣壓力、冷卻水壓力均在壓力表綠色區(qū)間內(nèi)。氣體壓力，SiH4：2±1kg/cm2，SiH2CL2：0.7±0.1 kg/cm2，N20：2±1 kg/cm2，氨氣：2±1 kg/cm2，N2：2±1 kg/cm2，壓空：5±1 kg/cm2。冷卻水流量，正常值為500±10cc/min。
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5.3. LPCVD的真空泵氮?dú)鈮毫屠鋮s水壓力都在額定值范圍內(nèi)。（能通過(guò)真空泵控制面板的自檢）\

6. 操作順序
6.1. 打開(kāi)120V、280V電源開(kāi)關(guān)
6.2. 依次打開(kāi)控制器電源開(kāi)關(guān)、DN-130P極限溫度控制器電源開(kāi)關(guān)、FFU電源開(kāi)關(guān)、照明燈電源開(kāi)關(guān)、主控制器開(kāi)關(guān)、傳送單元開(kāi)關(guān)、顯示器開(kāi)關(guān)、爐體加熱開(kāi)關(guān)。
6.3. 顯示器上提示“BACKUP MEMORY INITIALIZE OK？”按F1鍵確認(rèn)。
6.4. 真空系統(tǒng)建立
6.4.1. 確認(rèn)各閥門(mén)動(dòng)作正常且大閥處于關(guān)閉狀態(tài)（閥控制面板上V71閥LED燈不亮，即大閥關(guān)閉）；
6.4.2. 按真空泵控制面板上的“START”鍵；
6.4.3. 檢查真空壓力表讀數(shù)是否在紅色箭頭指定的0.2Pa位置；
6.4.4. 撿漏時(shí)先開(kāi)慢抽（V72閥），當(dāng)真空計(jì)讀數(shù)為100Pa以下時(shí)再打開(kāi)快抽（V71閥）；
6.4.5. 當(dāng)真空閥路控制器轉(zhuǎn)換到MANUAL狀態(tài)，打開(kāi)V5，V8 閥，按“SET”鍵確認(rèn)，當(dāng)容壓計(jì)和真空計(jì)的讀數(shù)均為零的時(shí)候，關(guān)閉V71閥，計(jì)時(shí)3分鐘，漏率不超過(guò)2Pa/min。
 

6.4.6. 通過(guò)漏率測(cè)試，慢回填氮?dú)猓?.5slm）10分鐘，再快回填氮?dú)猓?slm）15分鐘。
6.4.7. 將爐門(mén)落下，待機(jī)做片。
7. 關(guān)機(jī)程序
7.1. 程序結(jié)束后依次關(guān)閉加熱開(kāi)關(guān)，觀(guān)察DN-130P極限溫度控制器顯示溫度降至50攝氏度以下，關(guān)閉主控制器開(kāi)關(guān)、傳送單元開(kāi)關(guān)、顯示器開(kāi)關(guān)；
7.2. 關(guān)閉照明燈電源、關(guān)閉FFU電源開(kāi)關(guān)、關(guān)閉DN=130P極限溫度控制器電源開(kāi)關(guān)、關(guān)閉控制器電源；
7.3. 關(guān)閉120Vhe208V電源開(kāi)關(guān)
7.4. 關(guān)閉真空泵：控制面板上的STOP鍵，關(guān)閉真空泵泵冷卻水，關(guān)閉真空泵吹掃氮?dú)?，關(guān)閉真空泵本電源開(kāi)關(guān)
7.5. 關(guān)閉冷卻水，氮?dú)?，壓縮空氣閥門(mén)。
8. 注意事項(xiàng)：
本LPCVD立式爐是集高溫、高壓、特氣于一體的工藝設(shè)備，為了保證人身和設(shè)備安全，所有人員必須嚴(yán)格遵守下列條款：
8.1. 電器安全
8.1.1. 不能去掉所有連鎖；
8.1.2. 爐體電源打開(kāi)后，嚴(yán)禁打開(kāi)爐體腔門(mén)，需要處理爐體端子時(shí)，必須先把高壓斷開(kāi)，進(jìn)行這些操作時(shí)，必須兩人在場(chǎng)；
8.2. 特氣安全
8.2.1. 本設(shè)備使用硅烷作為工藝氣體，該氣體遇空氣極易燃且有毒，燃燒后產(chǎn)生白色粉末，對(duì)凈化環(huán)境產(chǎn)生影響。
8.2.2. 未經(jīng)允許，不準(zhǔn)打開(kāi)或者關(guān)閉硅烷閥門(mén)，停送氣需要提前申請(qǐng)；
8.2.3. 硅烷氣體管路系統(tǒng)必須氣密性良好，一旦發(fā)現(xiàn)氣體泄漏，立即執(zhí)行硅烷泄露緊急避險(xiǎn)，進(jìn)行相關(guān)處理。
8.2.4. 氨氣，二氯二氫硅具有腐蝕性的特氣，操作者按照日常點(diǎn)檢要求進(jìn)行檢查。
8.3. 高溫安全
8.3.1. 出入舟時(shí)禁止打開(kāi)傳送腔室前后門(mén)，防止?fàn)t門(mén)打開(kāi)時(shí)受到熱輻射。
8.3.2. 必須待降至室溫且切斷加熱器斷路器的條件下進(jìn)行爐體加熱器部分的保養(yǎng)，維修。
8.4. 其它：
8.4.1. 執(zhí)行正常關(guān)機(jī)程序時(shí)不允許直接按紅色的“EMERGENCY”按鈕進(jìn)行急停操作；
8.4.2. 如遇特氣泄漏，火災(zāi)等緊急情況時(shí)可以按紅色的“EMERGENCY”按鈕。