一 真空機組開機流程
1、 啟動VB150維持泵,然后打開出口閥。當電阻計2真空度達到5帕以下時,啟動擴散泵加熱。
2、 啟動VB200旋片泵,打開旁通閥;當電阻計1真空度達到2000帕以下時,開啟2ZJP—300羅茨泵,進行預抽。
3、 擴散泵加熱50分鐘以上且電離計真空達到5帕以下時,先關閉旁通閥,再打開主閥,進行主抽。
4、 關閉2ZJP—300羅茨泵,30秒后關閉VB200旋片泵。
二 真空機組關機流程
1、 關閉主閥。
2、 啟動-----關機程序。
三 真空機組使用注意事項
1、 真空機組在使用的整個過程中,必須保證水路、氣路完整通暢。
2、 必須嚴格按照真空機組的開機、關機流程,進行操作。
3、 擴散泵加熱過程中,若不慎斷水。應先關閉擴散泵電源,再關閉主閥。然后摘下擴散泵電爐加熱器,并使用電風扇進行降溫。在這過程中,要一直保持VB150維持泵和出口閥處于開啟狀態(tài)。
4、 擴散泵加熱過程中,若VB150維持泵出現故障不工作,應先關閉出口閥,然后啟動VB200旋片泵,再啟動2ZJP—300羅茨泵,打開維持閥進行主抽。