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單晶車間事故應(yīng)急預(yù)案

  
評論: 更新日期:2013年03月03日

  停水事故(供水設(shè)備故障,水泵控制電路 故障,管路故障,水池缺水,停電)

  發(fā)生停水時采取的措施: 發(fā)生停水時,立即打開停水爐子的事故水進水閥(一般為消 防水,)。 1.當(dāng)爐臺水壓不夠或完全停止的時候,爐臺會做出自我保護 措施停止加熱從而出現(xiàn)DC電源打火報警. 2.如果水壓不能及時恢復(fù),在等徑的爐臺立即將晶棒與液面脫 離,防止結(jié)晶.關(guān)閉晶轉(zhuǎn)鍋轉(zhuǎn). 3.加大氬氣流量,蝶閥全部打開,加速冷卻. 4.如果結(jié)晶時間超過15分鐘原料較多的爐臺將導(dǎo)流筒頂起, 石英坩堝不可頂?shù)酱笊w,防止硅料膨脹后把大蓋漲壞. 做好上續(xù)措施后水壓還未恢復(fù)的時候要仔細(xì)觀察爐臺。 停 水后水壓恢復(fù):

  1.冷卻水恢復(fù)供應(yīng)時,關(guān)閉事故水閥門,監(jiān)控水壓,有異常立即報 告管理人員。 2.水壓恢復(fù)時,爐內(nèi)無氧化現(xiàn)象,熔體未結(jié)晶或已結(jié)晶但液面結(jié)晶 小于4分鐘且石英坩堝未破裂,按加熱功率開,調(diào)節(jié)功率到熔料功率。 3.啟動堝轉(zhuǎn),設(shè)定為1轉(zhuǎn)/分,打開堝轉(zhuǎn)前,確保堝轉(zhuǎn)電位器處于零 位。 4 .熔化結(jié)晶面,在此期間應(yīng)密切爐內(nèi)有無氧化現(xiàn)象,注意硅料液面 熔化情況,一旦發(fā)生氧化現(xiàn)象、硅液面下降,立即停爐并上報管理人員。 5.晶體處理同晶變單晶一致,待結(jié)晶全熔后,手動調(diào)節(jié)功率為引晶 功率,溫度穩(wěn)定后,開始引晶。 停水后水壓無法恢復(fù),或恢復(fù)時熔體已結(jié)晶大于4分鐘。 1.快速提升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。 2.在熔體結(jié)晶40分鐘時,快速提升坩堝,使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。 3.停爐,充分冷卻后拆爐。

  一.把停水的原因查清進行處理,同時向相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)(直屬上 級)和相關(guān)部門(設(shè)備部,安全辦)進行報告; 二.在事故發(fā)生時,安全員,外圍設(shè)備操作工,單晶班長和 單晶員工各司其責(zé),有條不紊的進行處理,不要造成不必要 的混亂; 三.一般停水事故會發(fā)生在以下幾個方面:一,水泵故障停 水(啟動備用水泵);二,水池缺水(關(guān)閉進水閥門,向進 水管道中補充應(yīng)急水;另一方面,向水池補充ao水,恢復(fù)正 常生產(chǎn));三,管道系統(tǒng)中出現(xiàn)泄漏;盡量堵漏等停爐后進 行維修; 四.事故解決后,要認(rèn)真檢查水,電,氣等的各類參數(shù),確 定沒有問題,開始正常生產(chǎn);

  石墨坩堝裂開時采取措施:

  1.石墨坩堝裂開可觀察電壓電流表狀態(tài),是否有抖動現(xiàn)象。 2.有抖動現(xiàn)象說明與加熱器相擦,應(yīng)立即關(guān)閉功率。 3.退出控制柜面板上單晶生長自動控制器,使其處于手動 狀態(tài)。 4.關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。 5.快速提升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。 6.在熔體結(jié)晶40分鐘,如有可能,快速提升坩堝,使坩堝 頂起導(dǎo)流筒100mm。 7.停爐,充分冷卻后拆爐。

  爐內(nèi)漏水或觀察窗玻璃裂開:

  1.當(dāng)爐內(nèi)出現(xiàn)大量漏水或觀察窗玻璃裂開時,則立即關(guān)閉 功率。 2.關(guān)閉所漏部位的水源,關(guān)閉閥門及真空泵,對爐內(nèi)進行 充氬氣至50KPa左右,關(guān)閉氬氣。若觀察窗玻璃裂開時確認(rèn) 爐內(nèi)未出現(xiàn)大量漏水可不關(guān)閉閥門及真空泵蝶閥但要隨時觀 察爐內(nèi)情況,以采取應(yīng)急措施。 3.退出自動控制柜面板上單晶生長控制器,使其處于手動 狀態(tài)。 4.關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。 5.快速提升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。 6.在熔體結(jié)晶40分鐘時,如有可能,快速提升坩堝,使坩 堝頂起導(dǎo)流筒100mm。 7.停爐,充分冷卻后拆爐

  電器短路起火(用電負(fù)荷過大,接線松脫,電 器內(nèi)灰塵,雜物過多) ? 1.當(dāng)電器起火時,首先關(guān)閉控制電器的電源 總開關(guān), ? 2.如有明火時,用干粉滅火器撲滅, ? 3.按照實際情況進行修理或更換; ? 4.故障排除后,經(jīng)檢查無誤再恢復(fù)生產(chǎn);

  工傷事故(一般車間工傷事故,酸洗車間工傷事故)

  a. 1.一般車間發(fā)生工傷事故后,由當(dāng)班管理人員向安全員匯報,同時向直 屬上級領(lǐng)導(dǎo)進行匯報, 2.在等待安全員到達(dá)的同時,進行必要的施救; 3.如遇情況危急,可在安全員未到現(xiàn)場情況下,送患者去醫(yī)院搶救; 4.安全員到達(dá)現(xiàn)場處理時,所有人員必須聽從安全員的指揮; 5.在安全員了解事故情況時,相關(guān)人員必須如實回答,不得欺騙,隱瞞; 6.在事故沒有完全結(jié)束時,安全員要隨時關(guān)注事情的進展,并對相關(guān)人 員進行反饋; 7.當(dāng)事故結(jié)束后,安全員應(yīng)召集相關(guān)人員開安全事故鑒定會,對相關(guān)事 宜進行處理;

  b.1.當(dāng)酸洗車間發(fā)生化學(xué)品以身體接觸造成事故,首先,立即 用大量清水沖洗患處 10-20分鐘,用毛巾擦干水漬,在患處涂上藥膏; 2.事故發(fā)生時,由當(dāng)班管理人員向安全員匯報,同時向直屬 上級領(lǐng)導(dǎo)進行匯報; 3. 在等待安全員到達(dá)的同時,進行必要的施救; 4. .如遇情況危急,可在安全員未到現(xiàn)場情況下,送患者去醫(yī) 院搶救; .5. 安全員到達(dá)現(xiàn)場處理時,所有人員必須聽從安全員的指揮; 6..在安全員了解事故情況時,相關(guān)人員必須如實回答,不得 欺騙,隱瞞; 7. 在事故沒有完全結(jié)束時,安全員要隨時關(guān)注事情的進展, 并對相關(guān)人員進行反饋 8. .當(dāng)事故結(jié)束后,安全員應(yīng)召集相關(guān)人員開安全事故鑒定會, 對相關(guān)事宜進行處理;

  后語

  其實在單晶車間出現(xiàn)事故并不可怕,可怕的 是班組長不懂得如何對事故進行應(yīng)急,以減 少事故本身帶來的損失。因此對車間班組長事故應(yīng)急指揮,車間操作 員工的安全應(yīng)急預(yù)案培訓(xùn)必須嚴(yán)格落實,每 周必須培訓(xùn),每月進行現(xiàn)場應(yīng)急操作考核。

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