本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了集成電路用高純鈦濺射靶材的術(shù)語(yǔ)、定義、基本要求、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及質(zhì)量承諾和服務(wù)保證。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于集成電路中制造電子薄膜用的各類(lèi)鈦濺射靶材。