本標準規(guī)定了集成電路用高純鈦濺射靶材的術語、定義、基本要求、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存及質量承諾和服務保證。
本標準適用于集成電路中制造電子薄膜用的各類鈦濺射靶材。