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多層金屬薄膜層結(jié)構(gòu)測(cè)量分析方法 X射線光電子能譜
標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào):
T/CSTM 01199-2024
替代情況:
發(fā)布單位:
中關(guān)村材料試驗(yàn)技術(shù)聯(lián)盟
起草單位:
發(fā)布日期:
2024-01-05
實(shí)施日期:
2024-04-05
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期:
2024年04月26日
下載地址:
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30點(diǎn)(VIP會(huì)員免費(fèi))
內(nèi)容摘要
本文件規(guī)定了X射線光電子能譜儀(XPS)深度剖析測(cè)量多層金屬薄膜層結(jié)構(gòu)的分析方法。
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金屬
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