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半導(dǎo)體車間金屬粉塵智能檢測(cè)分析系統(tǒng)

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： T/QGCML 3970-2024
替代情況：
發(fā)布單位： 全國城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會(huì)
起草單位： 凌凱電子科技（湖北）有限公司、武漢羚動(dòng)設(shè)備有限公司、湖北鴻陽企業(yè)服務(wù)有 限公司
發(fā)布日期： 2024-03-28
實(shí)施日期： 2024-04-11
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更新日期： 2024年04月03日
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內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體車間金屬粉塵智能檢測(cè)分析系統(tǒng)的術(shù)語和定義、基本要求、運(yùn)行環(huán)境及功能、模塊功能、運(yùn)行測(cè)試。


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