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碳化硅晶體材料缺陷圖譜

標 準 號: GB/T 43612-2023
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 北京大學東莞光電研究院、山西爍科晶體有限公司、河北普興電子科技股份有限公司等
發(fā)布日期: 2023-12-28
實施日期: 2024-07-01
點 擊 數:
更新日期: 2024年02月25日
內容摘要

本文件規(guī)定了導電型4H碳化硅(4H-SiC)晶體材料缺陷的形貌特征,產生原因和缺陷圖譜。


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