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碳化硅單晶位錯密度的測試方法

標 準 號： GB/T 41765-2022
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 北京天科合達半導體股份有限公司、有色金屬技術經濟研究院有限責任公司
發(fā)布日期： 2022-10-12
實施日期： 2023-05-01
點 擊 數：
更新日期： 2023年05月30日
內容摘要

本文件規(guī)定了碳化硅單晶位錯密度的測試方法。
本文件適用于晶面偏離面、偏向<11?2 0>方向0°～8°的碳化硅單晶位錯密度的測試。

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