本文件規(guī)定了電子級多晶硅的牌號和類別、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于以氯硅烷、硅烷制得的電子級多晶硅（以下簡稱“多晶硅”）。