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氮化鎵襯底片載流子濃度的測試 拉曼光譜法

標 準 號： GB/T 36705-2018
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所、蘇州納維科技有限公司、中關村天合寬禁帶半導體技術創(chuàng)新聯(lián)盟
發(fā)布日期： 2018-09-17
實施日期： 2019-06-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2019年01月17日
內容摘要

本標準規(guī)定了利用拉曼光譜測試N型氮化鎵襯底片載流子濃度的方法。本標準適用于在藍寶石、碳化硅、硅、氮化鎵材料上生長的N型氮化鎵襯底片載流子濃度的測試。

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