本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半絕緣砷化鎵單晶中碳濃度的紅外吸收測(cè)試方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電阻率大于106Ω·cm 的非摻雜和碳摻雜半絕緣砷化鎵單晶中碳濃度的測(cè)定。測(cè)量范圍:室 溫 下 從 1.0×1015 atoms/cm3 到 代 位 碳 原 子 的 最 大 溶 解 度,77 K 時(shí) 檢 測(cè) 下 限 為4.0×1014atoms/cm3。