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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了平面磁控濺射光學(xué)薄膜用鈮靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及訂貨單(或合同)內(nèi)容。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于平面磁控濺射光學(xué)薄膜用鈮靶材。