本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了平面磁控濺射光學(xué)薄膜用硅靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及訂貨單（或合同）內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于平面磁控濺射光學(xué)薄膜用硅靶材。