本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子薄膜制備用高純鋁及鋁合金靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、存貯、訂貨單(或合同)等內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜用各類高純鋁及鋁合金濺射靶材(以下簡稱鋁靶)。