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本文件適用于評(píng)估在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中使用的機(jī)械、測(cè)試設(shè)備、工藝設(shè)備、部件及工具等設(shè)備的適用性。根據(jù)GB/T 25915.1,關(guān)注懸浮粒子粒徑范圍為0.1 μm至大于或等于5 μm。