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真空技術 真空計 用于分壓力測量的四極質譜儀特性

標 準 號: GB/Z 42625-2023
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所、中國航天科技集團有限公司第五研究院第五一〇研究所
發(fā)布日期: 2023-05-23
實施日期: 2023-05-23
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年11月11日
內容摘要

本文件規(guī)定了四極質譜儀的特性,該質譜儀的離子源為電子轟擊型,原子的質荷比(m/z)小于300。 ?
本文件不適用于配有其他類型離子源的四極質譜儀,比如化學電離型離子源、光電離型離子源或場電離型離子源,也不適用于分析測量較大質荷比(m/z)的四極質譜儀,它們主要用于檢測有機材料。 ?
根據(jù)已出版的文獻可知,四極質譜儀的計量特性依賴于儀器的設置、總壓力和混合氣體成分,因此,對所有應用狀況下的四極質譜儀進行校準是不現(xiàn)實的。本文件中規(guī)定的特性方法包括真空系統(tǒng)的連續(xù)泄漏監(jiān)測、采用示蹤氣體的漏率測量、殘余氣體分析和材料放氣率測試。使用者能選擇適合自身需求的特性方法,其他應用情況也能參照本文件的特性方法。 ?
已知四極質譜儀部分參數(shù)的穩(wěn)定性較差,尤其是靈敏度。因此,已校準參數(shù),當需要精度更高時,仍需反復再校準。實際工況下,只能現(xiàn)場校準。因此,本文件不僅描述了校準實驗室或者國家計量機構能如何校準四極質譜儀,并直接溯源到國際單位制(SI),而且描述了如何能在現(xiàn)場檢查和維護已校準參數(shù)。 ?
根據(jù)其物理原理,四極質譜儀需要高真空環(huán)境。通過減小進氣尺寸或通過特殊離子源與分流泵相結合,四極質譜儀的操作范圍能擴大到更高的壓力,直至大氣壓力。但是,本文件不適用于采用分流抽氣技術的四極質譜儀。因此,本文件中四極質譜儀入口處的壓力范圍不超過1 Pa。 ?
本文件未規(guī)定制造商或者經(jīng)銷商宜如何調整四極質譜儀的初始參數(shù),這些初始參數(shù)主要用來提供一個準確的m/z、恒定的質量分辨本領或恒定的傳輸概率,這是設備的基本參數(shù)。反之,本文件默認有一個制造商提供的參數(shù)重調程序,使用者能在現(xiàn)場重新調整參數(shù)。該程序旨在確保四極質譜儀的特性參數(shù)均處于最優(yōu)狀態(tài)。 ?
本文件旨在讓使用者通過其四極質譜儀獲得最佳的計量效果。調查得知,多數(shù)情

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