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表面化學(xué)分析 掃描探針顯微術(shù) 用于二維摻雜物成像等用途的電掃描探針顯微鏡（ESPM，如SSRM和SCM）空間分辨的定義和校準(zhǔn)

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 43661-2024
替代情況：
發(fā)布單位： 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 中山大學(xué)、廣東工業(yè)大學(xué)、暨南大學(xué)
發(fā)布日期： 2024-03-15
實(shí)施日期： 2024-10-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2024年06月17日
內(nèi)容摘要

本文件描述了用于測(cè)量掃描電容顯微鏡（scanning capacitance microscope，SCM）或掃描擴(kuò)展電阻顯微鏡（scanning spreading resistance microscope，SSRM）空間（橫向）分辨的方法，該方法涉及使用銳邊的器件。這2種顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的載流子分布成像和其他電學(xué)特性的測(cè)量。

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