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本文件規(guī)定了電子級硫酸的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標(biāo)志、標(biāo)簽、包裝、運輸、貯存和安全。 本文件適用于芯片、半導(dǎo)體、集成電路等用途的電子級硫酸。