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硅片切割廢液處理處置方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： HG/T 5962-2021
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部
起草單位： 中海油天津化工研究設(shè)計(jì)院有限公司 等
發(fā)布日期： 2021-08-21
實(shí)施日期： 2022-02-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年05月10日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了硅片切割廢液（漿）的組成、處理處置方法、環(huán)保排放要求。?

本文件適用于硅片切割生產(chǎn)線產(chǎn)生的切割廢液（漿）的處理處置。

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