本文件界定了電子探針顯微分析（EPMA)實(shí)踐中使用的術(shù)語，包括一般概念的術(shù)語和按儀器、分析方法分類的特定概念的術(shù)語。本文件適用于相關(guān)領(lǐng)域(SEM、AEM、EDX等)的所有標(biāo)準(zhǔn)和實(shí)踐文件中通用術(shù)語的定義。