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微束分析 掃描電子顯微術 圖像銳度評估方法

標 準 號: GB/T 33838-2017
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 中國科學技術大學物理學院
發(fā)布日期: 2017-05-31
實施日期: 2018-04-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2018年05月29日
內容摘要

本標準規(guī)定了用于評估掃描電子顯微鏡(SEM)生成的數(shù)字圖像銳度的3種方法:傅立葉變換(FT)法、襯度?梯度(CG)法、導數(shù)(DR)法。

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