本標準規(guī)定了納米氮化硅的牌號、技術(shù)要求和相關(guān)試驗方法以及產(chǎn)品的檢驗規(guī)則、包裝、標志、貯存、運輸和質(zhì)量證明書等要求。
本標準適用于氣相合成法生產(chǎn)的納米氮化硅。