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電子工業(yè)用氣體 氯化氫

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 14602-2014
替代情況: 替代 GB/T 24469-2009
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司、西南化工研究設(shè)計院有限公司、佛山市華特氣體有限公司
發(fā)布日期: 2014-12-22
實施日期: 2015-07-01
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更新日期: 2017年06月08日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氯化氫的技術(shù)要求、試驗方法、標(biāo)志、包裝、貯運及安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以工業(yè)氯化氫為原料,采用純化制得的氯化氫產(chǎn)品。該產(chǎn)品主要用于微電子工業(yè)中氣相拋光、外延和刻蝕工藝,也可用于硬質(zhì)合金、玻璃表面處理、醫(yī)藥中間體和精細(xì)化學(xué)品制造、科學(xué)研究等領(lǐng)域。
分子式:HCl。
相對分子質(zhì)量:36.458(按2009年國際相對原子質(zhì)量計算)。

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