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表面化學(xué)分析 硅片工作標(biāo)準(zhǔn)樣品表面元素的化學(xué)收集方法和全反射X射線熒光光譜法(TXRF)測(cè)定

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 30701-2014
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院
發(fā)布日期： 2014-06-09
實(shí)施日期： 2014-12-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2015年01月30日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片工作標(biāo)準(zhǔn)樣品表面元素鐵和/或鎳的化學(xué)收集方法（氣相分解法或直接酸性液滴分解法）和全反射X射線熒光光譜法(TXRF)測(cè)定 。

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